Kapazitive MEMS-K-Beam-Beschleunigungssensoren für Niederfrequenzanwendungen, 2 ... 200 g / 8316A

Die Familie der kapazitiven K-BEAM Beschleunigungssensoren des Typs 8316A... verwendet ein Silizium-MEMS-Sensorelement (Micro-Electro Mechanical System) mit variabler Kapazität. Jede Achse besteht aus einer sehr kleinen seismischen Masse und einem Biegeelement, das sich zwischen zwei Platten befindet. Wenn sich die Masse bei Beschleunigung auslenkt, ändert sich die Kapazität zwischen diesen Platten. Die im internen Signalaufbereiter des Beschleunigungsmessers enthaltene Schaltung zur Wechselstromerregung und synchronen Amplitudendemodulation liefert ein analoges Ausgangssignal, das proportional zur angelegten Beschleunigung ist. Dieses Ausgangssignal wird als Spannung skaliert und ist proportional zur angelegten Beschleunigung. Es gibt drei Gehäuse-/elektrische Schnittstellenoptionen (AC, TA, TB), die die verfügbaren Ausgangssignalformate bestimmen. Der Beschleunigungssensor wird über eine einzige geregelte Spannungsversorgung zwischen 6 und 50 VDC versorgt. Bei der AC-Option handelt es sich um ein hart anodisiertes Aluminiumgehäuse mit einer Epoxidversiegelung und einem integrierten PVC-Kabel. Der maximale Temperaturbereich beträgt 85°C [185°F]. Die verfügbaren Ausgangssignalformate sind bipolar 0±4 V, single-ended 2,5±2 V und differentiell 0±4 V oder 0±8 V. Das Sensorelement und die Elektronik sind in diesem leichten Gehäuse mit einer Umweltdichtung und integrierter Erdisolierung untergebracht. Die TA- und TB-Optionen bieten ein geschweißtes Titangehäuse mit einem 4-poligen 1/4-28-negativ-Stecker nach Industriestandard oder einem integrierten PTFE-ummantelten Kabel. Der maximale Temperaturbereich beträgt 125°C [260°F] und die verfügbaren Ausgangssignalformate sind bipolar 0±4 V (mit Temperaturausgang), single-ended 2,5±2 V (mit Temperaturausgang) und differentiell 0±4 V oder 0±8 V. Ein Temperaturausgang ist vorhanden, wenn eine externe Kompensation des Ausgangssignals gewünscht wird. Das Sensorelement und die Elektronik befinden sich in einem leichten, geschweißten Titangehäuse für ein vollständig hermetisches Design mit integrierter Erdisolierung. Bei der Klebemontage sorgt die harteloxierte Platte an der Unterseite des Sensors für eine Erdisolierung. Für die Schraubmontage werden die Sensoren mit integrierten Isoliereinsätzen in den Schraublöchern geliefert, um in Kombination mit der harteloxierten Platte an der Unterseite des Sensors eine masseisolierte Montage zu gewährleisten.