Hochtemperatur Absolutdrucksensoren, M5 (von 0 ... 5 bis 0 ... 250 bar) / 4007D

Die piezoresistive Drucksensorserie des Typs 4007D ist eine kleine, robuste und hochgenaue Sensorfamilie, die für den Dauerbetrieb bei hohen Temperaturen bis zu 200°C geeignet ist. Die Druckwandler verwenden eine voll aktive Wheatstone-Brücke, um ein elektrisches Signal zu erzeugen, das proportional zum ausgeübten Druck ist. Die Widerstände, aus denen die Wheatstone-Brücke besteht, sind in eine mikrobearbeitete Siliziummembran implantiert, die mit der Silicon on Insulator (SOI)-Technologie hergestellt wird. Dieser Ansatz in Verbindung mit der DCE-Sensorkonstruktion von Kistler ermöglicht es, die Sensoren Medientemperaturen von bis zu 200°C auszusetzen und gleichzeitig Hysterese- und Wiederholbarkeitsfehler zu minimieren. Weitere Leistungsverbesserungen werden durch digitale Kompensationstechniken erzielt, wodurch die Auswirkungen von Nullpunktverschiebung und temperaturbedingten Empfindlichkeitsänderungen ohne Einbussen bei der Signalbandbreite reduziert werden können. Die digitale Kompensationstechnik ermöglicht darüber hinaus eine Überwachung der Sensortemperatur (z.B. mit Verstärkern des Typs 4665B und 4624A).