Dynamische Kraftmesstechnik: Erhöhung von Qualität und Produktivität in der Halbleiterfertigung

Dynamische Kraftmesstechnik: Bewältigung neuer Herausforderungen in der Halbleiterfertigung Steigerung von Ertrag und Produktivität

Die Halbleiterherstellung wird immer komplexer und anspruchsvoller. Die Hersteller von heute müssen sich auf eine effiziente Prozessüberwachung verlassen können, konventionelle Messmethoden allein garantieren jedoch das Erreichen der geforderten Qualitätsstandards nicht mehr. Deshalb wird die Kraftmessung sowohl bei Front-end- als auch bei Back-end-Produktionsprozessen zum kritischen Faktor: Schleifen, Würfeln, Polieren, CMP, Wafer-Handling, Die-Sortierung, Drahtbonden, Flip-Chip, Gießen und Verkapseln, Pick- and Place-Handling, Testen und mehr.

Optimierung der Halbleiterproduktion mit Überwachungstechnologie von Kistler

Erfahren Sie, wie der Brancheninsider Kistler den Halbleiterherstellern hilft, die Herausforderungen des heutigen Marktes zu meistern. Integrierte Überwachungslösungen, die auf piezoelektrischer Messtechnik basieren, können jeden Schritt der Halbleiterfertigung optimieren - vom Dicing bis zum Bonden. Erfahren Sie, wie die direkte Kraftmessung Probleme wie das Absplittern oder Verstopfen von Klingen, Drahtbrüche und Fügefehler wirksam verhindert. Nehmen Sie sich vier Minuten Zeit und entdecken Sie, wie Kistler Lösungen die Qualität, den Ertrag und die Transparenz in jeder Halbleiterproduktionslinie steigern können - auch in Ihrer!

Gießen und Verkapseln

Die Prozessüberwachung mit Kraftmesstechnik liefert einen echten Mehrwert für die Halbleiterindustrie. Das Unsichtbare sichtbar zu machen ist der Schlüssel zur Bewältigung der Herausforderungen der Welt von morgen!

Die piezoelektrische Messtechnik von Kistler garantiert Überwachung mit hoher Auflösung und Kontrolle über die angelegten Kräfte in der Halbleiterfertigung – egal, wie klein diese sind.

Konventionelle Messtechnik ist nicht dazu in der Lage, Kraft als physische Grösse zu erfassen, welche den Wafer oder Chip beschädigen kann. Piezoelektrische Kraftsensoren machen „das Unsichtbare sichtbar“.
Die auf dynamischen Kraftmessungen basierende Prozesstransparenz bietet die folgenden Vorteile für die Halbleiterfertigung mit :

Früherkennung von Abweichungen der mechanischen Belastung
Kraftpräzision
Produktverfolgbarkeit und Prozessoptimierung
Gesteigerte Maschinenleistung
Reduzierte Qualitätskosten

Messoptionen für die Halbleiterproduktion

Nebst Messtechnik gestützt auf jahrzehntelange Erfahrung bietet sich Kunden von Kistler ein entscheidender Vorteil: die gesamte Halbleiter-Messkette aus einer Hand. Unser Portfolio beinhaltet alles von hochmoderner Sensorik und fortschrittlichen Datenerfassungseinheiten bis hin zu Hardware und Software für die präzise Datenanalyse und Visualisierung der Messresultate. Im Folgenden drei Beispiele für Messketten mit dynamischer Kraftmesstechnik. Alle dazugehörigen Komponenten sind bei Kistler aus einer Hand erhältlich.

Der piezoelektrische Sensor misst die Kraft. Der industrielle Ladungsverstärker wandelt die Ladung in ein elektrisches Signal um, das der gemessenen Prozesskraft entspricht. Schließlich wird das Signal an die speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) oder den industriellen PC am Ende der Messkette übermittelt.

Die Vorteile der Halbleiter-Messkette

Prozessregelung: präziser geschlossener Regelkreis
Prozessüberwachung: direktere Korrelation mit den Produktqualitäts-Parametern
Prozessverfolgbarkeit: Daten als Basis für Dokumentation und Prozessoptimierung

Der piezoelektrische Sensor misst die Kraft. Dank dem Prozessüberwachungssystem maXYmos können Nutzer die Qualität jedes einzelnen Produktionsschritts mithilfe einer Kraft-Zeit- oder Kraft-Weg-Kurve prüfen und evaluieren. Der Hauptvorteil dieser Messkette: Jeder Produktionsschritt kann geprüft und visualisiert werden, um festzustellen, ob ein Teil gut oder schlecht ist.

Die Vorteile der Messkette

Prozessregelung: präziser geschlossener Regelkreis
Prozessüberwachung: direktere Korrelation mit den Produktqualitäts-Parametern
Prozessverfolgbarkeit: Daten als Basis für Dokumentation und Prozessoptimierung

In dieser Messkette wird die Kraft durch einen piezoelektrischen Sensor gemessen. Ein Labor-Ladungsverstärker wandelt dann das Ladungssignal des Sensors in eine entsprechende Ausgangsspannung um. Der Labor-Ladungsverstärker verfügt über einen extrem breiten Ladungs- und Frequenzbereich sowie ein herausragendes Rauschverhalten – die ideale Messkette für R&D-Aufgaben.

Die Vorteile der Messkette

Prozessregelung: präziser geschlossener Regelkreis
Prozessüberwachung: direktere Korrelation mit den Produktqualitäts-Parametern
Prozessverfolgbarkeit: Daten als Basis für Dokumentation und Prozessoptimierung

Unsere Experten beraten Sie gerne über spezifische Anwendungen oder schlagen Ihnen die optimalen Produkte für Ihre Messkette vor.